SEMI S2文件審核清單（適配SEMI S2-0724，可直接用于第三方文件評審自查；可搭配S8/S10同步核查）

說明：SEMI S2是EHS評估，無證書；清單用于文件階段 Design Review，用于提前自查，減少NCR。 適用：半導體工藝/量測/化學品供給設備；條款對標S2章節，每項標注【資料名稱】+【核查要點】

0. 項目基礎信息（前置核查）

評估范圍定義文件：整機 / 子系統、包含模塊、排除模塊、邊界（公用工程、廠務接口）

標準版本確認：SEMI S2-0724/S2-0821（與Fab客戶確認版本）

設備型號、版本、序列號范圍、硬件版本、軟件版本清單

評估邊界說明：廠務提供部分（CDA、冷卻水、電源、排風）不屬于設備本體的免責說明

適用配套標準確認：SEMI S10（風險評估）、SEMI S8（人體工學）、S30（含能材料，如適用）

1. 風險評估文件（SEMI S2+SEMI S10）

危險識別與風險評估報告（按S10方法論：HAZOP/JSA/FMEA）

所有危險場景識別：機械、電氣、化學、火災、壓力、輻射、噪聲、熱、地震、人為誤操作

風險矩陣，風險等級判定，風險降低措施（消除→防護→警告→程序）層級

殘余風險匯總清單

危險介質清單（化學品、易燃/腐蝕性/有毒氣體、高壓介質、制冷劑）

MSDS/SDS所有介質，最新版本

含能材料評估（SEMI S30，如適用：氧化劑、自燃、爆炸前驅物）

故障模式評估：安全相關控制、聯鎖失效后果分析

2. 安全概念&安全功能（EMO、聯鎖、旁路、LOTO，S2重點）

安全概念說明文檔（Safety Concept）

EMO緊急停機系統說明

EMO點位清單、布局圖

EMO動作邏輯圖、斷電/斷氣/切斷化學品的響應說明

EMO故障安全設計證明（失安全態）

安全聯鎖清單（全部聯鎖：門聯鎖、壓力聯鎖、溫度聯鎖、流量聯鎖等）

聯鎖邏輯圖、聯鎖觸發后的動作

聯鎖旁路管理程序：旁路權限、記錄、恢復機制、警示

危險能量隔離LOTO（鎖定掛牌）

所有能量源清單：電、氣、液壓、真空、彈簧勢能、蓄能

LOTO點位圖、LOTO操作程序

儲能釋放方案（電容器、壓力容器、彈簧）

3. 電氣安全文件

電氣原理圖、安全回路圖、安全 PLC/安全繼電器圖紙

電氣部件BOM（安全部件：急停、安全門開關、安全控制器）

絕緣、接地、保護等電位方案

過流保護、短路保護、漏電保護設計說明

高壓系統評估文檔（S2-0724新增重點，≥1kV）

高壓防護、絕緣距離、警示、聯鎖、隔離程序

電氣部件證書：UL/CE等元件證書（安全元件）

電氣安全測試報告（絕緣電阻、接地連續性、耐壓測試）

4. 機械安全文件

整機機械裝配圖、運動機構圖紙

運動部件風險評估：夾點、剪切點、卷入、墜落、彈射

防護裝置設計說明：固定防護、可移動防護、聯鎖防護

起重/鉸鏈載荷評估（S2-0724新增），蓋板/門體載荷計算

抗震評估文件（地震載荷分析，Fab通常要求）

結構強度計算書（承壓件、支架、懸臂結構，如有）

5. 化學品、壓力、排風與泄漏防護

流體管路P&ID圖（工藝氣、化學品、冷卻水、真空）

壓力部件清單，壓力保護（安全閥、爆破片、壓力聯鎖）

泄漏收集、二次圍堤/接液盤設計說明、容積計算

排風系統設計：排風流量、換氣次數、接口要求、排風失效聯鎖

化學品加熱系統評估（過熱、干燒保護）

廢液/廢氣排放說明，與廠務接口邊界

6. 防火與防爆

易燃物料存量評估

火災檢測（煙感 / 溫感，如有）、滅火系統說明

防火分隔、阻燃材料BOM，材料阻燃等級證明

防爆評估（如存在爆炸性混合物）

7. 輻射、激光、噪聲、熱

激光：激光等級評估、激光防護、防護窗、警示標簽、 interlock

電離輻射（X射線等，如有）：輻射評估、屏蔽計算、劑量評估

非電離輻射（磁場、射頻）評估報告

噪聲評估文件，噪聲預測/實測報告、降噪措施

高溫表面評估，防燙傷防護

8. 人體工學（SEMI S8，通常和S2打包審核）

S8人體工學評估報告

操作高度、維修空間、重物搬運、可視性、操作力評估

維修可達性評估，維修操作風險

9. 安全標識、標簽、銘牌

整機銘牌圖紙

全部安全標簽清單+標簽圖紙（警告、危險、強制、禁止）

標簽位置布置圖，多語言要求（Fab一般英文，部分中文）

核查要點：標簽耐久性、符合 ANSI Z535/ISO 7010

10. 用戶文檔（手冊，S2強制要求）

操作手冊Operation Manual

維護手冊Maintenance Manual

安全章節（獨立安全章節，S2強制）

危險說明、殘余風險、防護要求

EMO、聯鎖、LOTO操作說明

化學品、輻射、激光安全說明

故障處理、應急程序

個人防護PPE要求

備件手冊、安全部件更換說明

新版S2-0724：設備退役、拆除、無害化處置章節（重點新增，極易漏）

11. 軟件安全（安全相關軟件）

安全PLC/安全控制器軟件版本、軟件變更控制記錄

安全功能軟件驗證報告

軟件故障、內存失效、通訊失效的安全響應說明

12. 質量/變更管理文件

設備變更控制流程（硬件/軟件變更評估機制）

安全部件變更管控說明

測試記錄模板，出廠安全功能測試SOP