核心常用 SEMI?S系列標(biāo)準(zhǔn)（半導(dǎo)體設(shè)備 / 儀器儀表 EHS安全）

SEMI?S是環(huán)境、健康與安全 (EHS) 類(lèi)指南標(biāo)準(zhǔn)，用于晶圓廠(chǎng)設(shè)備、工藝子系統(tǒng)、儀器儀表；屬于行業(yè)規(guī)范，非法規(guī)強(qiáng)制，但晶圓客戶(hù)采購(gòu)強(qiáng)制要求。

最常用組合：SEMI S2 + SEMI S8，高頻附加 SEMI F47

核心S系列

SEMI S2?0721

Semiconductor Manufacturing Equipment Safety Guideline

半導(dǎo)體制造設(shè)備安全指南（整套 SEMI 安全的核心，幾乎必做）

覆蓋：電氣安全、機(jī)械危險(xiǎn)、急停 E?stop、安全聯(lián)鎖、壓力危險(xiǎn)、化學(xué)品 / 有毒氣體、火災(zāi)防護(hù)、激光、輻射、噪聲、警示標(biāo)識(shí)、防護(hù)裝置。

重點(diǎn)：急停回路、門(mén)聯(lián)鎖、危險(xiǎn)介質(zhì)防護(hù)、過(guò)熱保護(hù)。

適用：半導(dǎo)體整機(jī)、子單元、在線(xiàn)監(jiān)測(cè)儀器、氣體控制柜、真空設(shè)備。

SEMI S8?1122

Ergonomics Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment

半導(dǎo)體設(shè)備人體工效學(xué)安全指南

覆蓋：操作高度、維護(hù)檢修空間、把手、操作力、可視性、部件拆裝便利性、人體防護(hù)。

目的：防止操作、維護(hù)人員勞損、磕碰，檢修可達(dá)性。

儀表重點(diǎn)：面板按鍵布局、內(nèi)部模塊拆裝空間。

SEMI S10?0323

Risk Assessment Process for Semiconductor Manufacturing Equipment

半導(dǎo)體設(shè)備風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估流程

規(guī)定風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估方法論：危害識(shí)別、風(fēng)險(xiǎn)分級(jí)、風(fēng)險(xiǎn)消減措施。

所有做S2評(píng)估的設(shè)備必須配套S10風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估報(bào)告。

SEMI S6?0622

Exhaust Ventilation for Semiconductor Manufacturing Equipment

半導(dǎo)體設(shè)備排氣通風(fēng)安全指南

針對(duì)接觸有毒、腐蝕、可燃工藝氣體 / 化學(xué)品的設(shè)備儀表。

要求排風(fēng)接口、泄漏收集、示蹤氣體泄漏測(cè)試、排風(fēng)風(fēng)量要求。

無(wú)工藝氣路的普通電氣儀表一般不強(qiáng)制S6。

SEMI S14?0224

Fire Risk Assessment Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment

半導(dǎo)體設(shè)備火災(zāi)風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估指南

可燃化學(xué)品、易燃介質(zhì)、內(nèi)部起火風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估，防火隔離、過(guò)熱、滅火措施。

多用于氣體柜、化學(xué)品供給單元。

SEMI S22?0623

Electrical Design Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment

半導(dǎo)體設(shè)備電氣設(shè)計(jì)安全指南

半導(dǎo)體行業(yè)專(zhuān)項(xiàng)電氣安全；補(bǔ)充 IEC/EN61010之外晶圓廠(chǎng)特殊電氣要求。

重點(diǎn)：安全回路、接地、絕緣、安全繼電器、急停電路設(shè)計(jì)。

SEMI S23?1021

Energy Conservation Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment

半導(dǎo)體設(shè)備能效指南

能耗評(píng)估、節(jié)能設(shè)計(jì)；部分先進(jìn)晶圓廠(chǎng)招標(biāo)會(huì)要求，不是通用必選。

高頻配套（名字帶F，經(jīng)常和S系列一起評(píng)估）

SEMI F47?0220

Voltage Sag Immunity 電壓驟降抗擾度

晶圓廠(chǎng)極高頻率強(qiáng)制項(xiàng)，雖然編號(hào) F，但幾乎和S2綁定。

要求設(shè)備承受電網(wǎng)電壓跌落（電壓暫降）時(shí)，不發(fā)生誤停機(jī)、損壞、危險(xiǎn)釋放；需要實(shí)驗(yàn)室測(cè)試。

很多國(guó)產(chǎn)儀器儀表在這里通不過(guò)評(píng)估。

快速選型參考（儀器儀表場(chǎng)景）

普通半導(dǎo)體監(jiān)測(cè)儀表（僅電氣，無(wú)工藝氣體、無(wú)化學(xué)品）

強(qiáng)制：S2、S8、S10；客戶(hù)經(jīng)常加F47；S6/S14/S22按需

帶工藝氣路、氣體檢測(cè)儀表、氣體控制柜

S2、S8、S10、S6；視介質(zhì)加S14；F47；S22

化學(xué)品供給單元

S2、S8、S10、S6、S14、F47